真空镀膜产品常见不良分析、改善措施(三)
【添加时间：2016-11-24 14:50:29】【来源：】【作者：cddaxin】【阅读：】
真空镀膜产品常见不良分析、改善措施(三)
镀膜产品的不良，部分是镀膜工序的本身造成的，部分是前工程遗留的不良，镀膜最终的品质是整个光学零件加工的（特别是抛光、清洗）的综合反映，对于出现镀膜不良时必须综合考虑，才能真正找到不良产生的原因，对策改善才能取得成效。第三篇、膜色差异
膜色差异有二种（不包含色斑），一种是整罩上、中、下膜色不一致，即分光测试曲线有差异；二是单片膜色不一致。
1．上中下膜色不一致称为整伞（罩）均匀性不好，也称有伞差。主要产生原因是均匀性修正板（补正板）有问题。
2．伞片变形。也是膜色不匀的原因之一，特别是使用了较久的伞片，以往是均匀的，慢慢变得不均匀了，伞片变形就可能是主要原因了。
3．膜料状况的不一致，特别是升华和半升华膜料被打偏，挖坑等也会严重影响整罩和单片的均匀性。特别是有大量手工预熔时，各人的操作手法不一，得到的料况也会不一。
改善思路：充分采用修正板的功能。
改善对策：
㈠、调整修正板，尽量考虑高低折射率膜料的平衡兼容，如果有二个蒸发源，可能的条件下，独立使用各自的修正板，避免干扰。
㈡、条件许可，采用行星夹具。
㈢、伞片整形，对伞片整形可以先加工一个R基模（选择强度较高的原材料），在基模上对伞片整形。为防止减少伞片变形，在伞片订购时对伞片的厚度、原材料选择要合适。
㈣、加强伞片管理，特别是摆放时的管理，防止因摆放不当而变形。
㈤、改善膜料状况，特别是电子枪蒸镀升华、半升华材料时，不能把膜料打塌，挖坑。
㈥、能够自动预熔的膜料，尽量自动预熔，减少人为因素影响。
说明1：修正板对物理膜厚的修正很有效，但对折射率的修正是力不从心的，所以完全靠修正板解决分光均匀性，是很困难的。
说明2：如果一个修正板要对应二把电子枪（蒸发源）、以及多种膜料，就会有较大的困难。
对于单片膜色不均匀产生的原因：
主要是由于基片凹凸严重，与伞片曲率差异较大，基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大，形成的膜厚差异大。
另外镜片被镜圈（碟片）边缘部遮挡、镜圈（碟片）脏在蒸镀时污染镜片等等也会造成膜色差异问题。
改善思路：改善镜片边缘的蒸发角。
改善对策：
㈠、条件许可，用行星夹具；
㈡、选用伞片平坦（R大）的机台；
㈢、根据伞片孔位分布，基片形状，制作专门的锯齿形修正板。
㈣、如果有可能，把蒸发源往真空室中间移动，也可改善单片的膜色均匀性。
㈤、改善镜圈（碟片），防止遮挡。
㈥、注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡
㈦、清洁镜圈（碟片）
㈧、改善膜料蒸发状况。